①基本的な取得データ
⼀回の試験にて取得されるデータは下記の3種類です。
このデータを駆使して報告書の作成に使います。
均質材料のシリコンウエハ(Siウエハ)と超硬基材上の窒化チタン(TiN)の2種類を⽰します。
・エロージョンプロファイル
微粒子を一定単位投射後に摩耗痕中心を形状計測すると1本の形状曲線ができます。同じ位置に繰り返して摩耗すると深さ方向に複数の形状曲線が得られます。
強さの断面観察画像になります。
・エロージョン進行グラフ
エロージョンプロファイルの中心部(図中2本の点線部)の深さを縦軸に累積投射量を横軸に示したグラフです。
曲線の傾きは材料の強さで、角度が急なほど弱い(早く摩耗する)ことが示されます。
・エロージョン率分布グラフ
エロージョン進行グラフの曲線の傾きを微分してエロージョン率(強さを示す尺度)を示すグラフです。
縦軸に表面からの深さを、横軸にエロージョン率で数値が大きくなるほど弱いことが示されます。
表面から内部までの強さの分布として表示されています。
②報告書例
報告書の構成は以下のようになっています。
・タイトル
・試験目的
・試験条件
・分析(複数比較や傾向をグラフ化)
・解説とコメント(目的に沿った結果内容のまとめ)
・個別試験データ
報告書例