①試験片サイズ
[Max]25mm×25mm×t10mm以内 標準
[Min]5mm×5mm×t0.05mm以上
②試料形状
[標準]平板状のもの、または表面R=50mm以上のもの
③試料の表面粗さ
表面粗さが粗いと深さ方向計測分解能が悪くなります。
計測分解能はRz*の約 1/2 になってしまいます。
*Rz…最大表面粗さ
④試験可能深さと深さ分解能
・試験深さは下図に示すように大きく3段階に分けています。
各段階で深さ分解能の範囲が変わってきます。
・深さ分解能範囲（目安）
高分解能 ： 10nm～1μm
標準 ： 0.2～3.0μm
特殊対応 ： 1.0～10μm
⑤試験可能材料
固体でかつ水に溶けないものであれば可能です。
⑥その他
特殊な形状や材質や計測の用途など規格外場合は相談してください。
およそ3500事例の中から得られた知見で提案可能です。
